廠商：德國PVA-TePla-AG
型號： 310 M
技術指標：
1.等離子體室：石英，直徑245mm，深380mm; 2.等離子體發生器：微波頻率2.45GHz，最大1.000瓦，可變功率
工藝特點：
1.微波等離子體廉價、易于使用、高度活性、高效，且不會對電子裝置產生
損害，該系統配備潔凈的石英晶體處理室;
2.可以進行普通光刻膠灰化、SU8灰化;
3.適合于光刻膠顯影底膜的去除。
