廠商：坤杰精密自動化設備有限公司

型號： 310 M

技術指標：

1.共18個工作槽位，配備氮氣及純水清洗系統;

2.可進行常規有機、無機清潔處理；ITO薄膜濕法蝕刻；去蠟清洗；lift-off 工藝；

濕法腐蝕氧化硅等工藝。

工藝特點：

1.小批量多片處理、水浴加熱清洗、超聲清洗；

2.DI水沖洗為噴淋，溢注兩種模式自由組合;

3.半自動機械手臂進行上下往復晃動，反應更均勻