設備簡介：

廠商：AST(聚昌科技)

型號：Peva-600E

技術指標：

1.一次工藝可以蒸發四種不同金屬材料；Ti/Al/Ti、Ni/Au、CrPtAu等，Au最后可做到3um；

2.蒸鍍溫度在室溫到100℃之間可調；

3.Lift-off工藝一次可以蒸鍍108片2"圓片；

4.Step-coverage工藝一次可以蒸鍍67片2"圓片；

5.工藝的均勻性和重復性±5％.

工藝特點：

1. 因應功率IC(Ti/Ni/Ag)及ⅢⅤ族砷化鎵晶圓各種Lift-Off製程需求（Ti、Au、Al、Ni、Cr、AuGe等），將Throw Distance拉高至＞26~32吋;

2.Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±1%，以確保整體產品良率;

3.最佳化蒸鍍腔及排氣系統設計，可有效降低Cycle time，并提升材料利用率（提高20%）